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产品中心INFICON英福康Transpector CPXINFICON英福康残余气体分析仪
产品简介
INFICON英福康残余气体分析仪（Transpector CPX）用于半导体制造中的过程监控。新一代Transpector CPX相较于前代产品，其体积减少了30%。
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产品分类| 品牌 | INFICON/美国 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,电气 |
INFICON英福康残余气体分析仪（Transpector CPX）
增强性能、可靠性验证与应用多样性
INFICON Transpector CPX 是一款市场优秀的残余气体分析仪（RGA），用于半导体制造中的过程监控。INFICON 深知半导体制造过程有特定需求，需要灵活性以满足应用要求。Transpector CPX 设计时充分考虑了这一多样性，配备了多压力 HexBlock 入口和多种功能选项，以满足应用需求。
新一代Transpector CPX相较于前代产品*体积减少了30%，同时保持行业优秀的抽气系统。此外，Transpector CPX 还是一款更智能的系统，具有更强的控制能力。
*与 Transpector CPM 3 相比
优势
l 可配置的 HexBlock，最多支持三个压力入口，适用于多种应用
l 与 Transpector CPM 3 相比，系统体积减少 30%，便于在空间受限的应用中进行 RGA 集成
l 通过行业优秀的抽气系统和温控加热组件简化系统复杂度
l 自动校准确保长期数据可靠性和准确性，实现传感器到传感器、工具到工具的腔室匹配
l 当与 FabGuard 软件集成并由 INFICON 应用专家支持时，Transpector CPX 成为强大的过程监控和诊断工具
INFICON英福康残余气体分析仪（Transpector CPX）
技术规格
型号 | 100AMU | 200AMU | 300AMU |
检测极限 | <200 ppb | <500 ppb | <1 ppm |
过程压力范围 | 1E-8 Torr to 1.2 atm | 1E-8 Torr to 1.2 atm | 1E-8 Torr to 1.2 atm |
灵敏度（低发射） | > 4E-6 Amps/Torr | > 4E-6 Amps/Torr | > 4E-6 Amps/Torr |
灵敏度（高发射） | > 2E-5 Amps/Torr | > 2E-5 Amps/Torr | > 2E-5 Amps/Torr |
杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
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