产品中心
Product Center
站内搜索：
当前位置：首页
产品中心INFICON英福康Transpector XPR 3+INFICON英福康残余气体分析仪
产品简介
INFICON英福康残余气体分析仪（Transpector XPR 3+）提供业内优秀的测量速度，以监测并控制现代半导体和显示屏生产所需的快速过程变化。
product
产品分类| 品牌 | INFICON/美国 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,电气 |
INFICON英福康残余气体分析仪（Transpector XPR 3+）
监测并控制快速过程变化
新的Transpector XPR 3+残余气体分析仪(RGA)提供业内优秀的测量速度，以监测并控制现代半导体和显示屏生产所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+非常适合于现场空气漏点、气体纯度、碳氢化合物和污染监测。相比定期上升率测试，Transpector XPR 3+ 进行的实时测量可提供很好的产品保护。
通过充分利用工具使用时间促进盈利能力
Transpector XPR 3+ RGA 是用于溅射压力范围应用的经实践验证的四极和双离子源传感器。无需压力转换设备，部件使用寿命长，能快速检测并诊断问题，从而充分利用工具可用性、产品吞吐量和产量。传感器可在高真空到 20 mTorr 范围连续工作，无需泵。Transpector XPR 3+ 双离子源腔室设计用于限制涂层，以保持离子源灵敏度，并延长传感器平均维护时间。
优势
l 从高真空到 PVD 流程压强条件下，能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染，实时保护晶圆和面板
l 充分利用 PM 效率和工具正常使用时间，具有快速可靠的腔室条件
l 通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计最小化总体拥有成本；无需泵，即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择
l 通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
l 通过定制配方优化增强独特生产能力
l 通过即时现场专家响应保护关键过程需求
典型应用
l PVD 和溅射过程模块
l 预清洗模块
l 非群集 PVD 工具
l 夹钳式除气模块
INFICON英福康残余气体分析仪（Transpector XPR 3+）
技术规格
质量位置稳定性 | <0.1 amu over 24 hours |
灵敏度（FC 模式） | ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) |
灵敏度（标称） | ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) |
最小可检测分压（FC 模式） | ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) |
最小可检测分压（EM 模式） | ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) |
最大工作压力（FC 或 EM 模式） | 20 mTorr (2.6E-2 mbar) |
最大工作压力（线性操作） | 10 mTorr (1.3E-2 mbar) |
杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
上一个：
返回列表
