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流量计的分类方式有多种,常见的分类如下:按测量原理分类·力学原理·差压式流量计:如孔板流量计、文丘里流量计等,基于流体流经节流装置时产生的压力差与流量的关系来测量。·容积式流量计:包括椭圆齿轮流量计、腰轮流量计等,通过测量流体连续不断地填充已知容积空间的次数来计算流量。·速度式流量计:像涡轮流量计、涡街流量计,分别利用叶轮转速、卡门涡街原理测量流体的平均速度,进而得出流量。·动量式流量计:例如靶式流量计,根据流体冲击靶板产生与流速成正比的力来测量流量。·冲量式流量计:利用流体...
在现代工业控制系统中,对气体流量的精确测量和快速响应至关重要。Alicat气体质量流量计具有高精度、高稳定性和快速响应的特性。本文将深入探讨Alicat气体质量流量计的工作原理、优势以及其在工业控制中的具体应用。一、Alicat气体质量流量计的工作原理Alicat气体质量流量计采用先进的热式质量流量传感技术,通过测量气体流过传感器时引起的温度变化来计算气体的质量流量。这种技术具有很高的测量精度和稳定性,不受气体压力、温度和成分变化的影响。同时,Alicat气体质量流量计还具备...
真空计在光伏行业主要用于光伏电池生产过程中的多个关键环节,起到精确测量和控制真空度的重要作用,以确保产品质量和生产效率,以下是具体的应用介绍:硅片制备l多晶硅铸锭:在多晶硅铸锭炉中,需要通过真空计精确控制炉内真空度。一般来说,在熔化和凝固过程中,需要将真空度控制在10⁻³至10⁻²Pa的范围内,以防止硅液与空气发生反应,保证多晶硅的纯度和晶体结构。l单晶硅拉制:直拉法生长单晶硅时,单晶炉内的真空度通常要达到10⁻⁴Pa量级。通过真空计实时监测和反馈,使系统能够及时调整真空泵的...
真空计在半导体行业有着广泛且重要的应用,以下是具体介绍:工艺腔室压力测量与控制·光刻工艺:光刻是半导体制造中把掩膜版上的图形转移到晶圆上的关键工艺。光刻过程需要在特定的真空度下进行,以确保光刻胶的均匀性和曝光效果。真空计用于实时监测光刻设备内的压力,保证压力稳定在如10⁻³至10⁻²Pa的范围内,使光刻过程不受气体分子干扰,提高光刻精度,确保芯片图案的准确性。·刻蚀工艺:刻蚀是去除晶圆表面不需要的材料以形成电路图案的工艺。不同的刻蚀工艺对真空度要求不同,例如反应离子刻蚀通常需...
真空获得又称为抽真空,是指通过机械、物理或化学等手段在特定容器中获得真空的专门技术。用以产生、改善和维持真空的装置称为真空泵。目前使用真空泵获得真空的技术方法有两种:传输式真空泵和捕获式真空泵。根据真空度的不同,又可将真空泵分为:低真空(粗真空)泵、中真空泵、高真空泵、超高真空泵。真空环境是许多精密设备运转的前提条件,因此真空获得技术对于提高设备性能和产品质量具有重要意义。但是,只聊真空获得不聊真空测量是不完整的。在真空技术的应用中,真空获得和真空测量通常是相互依赖的,需要先...
真空计的工作原理多样,常见的有以下几种:热传导真空计l原理:气体的热传导与气体分子密度有关,在低压力下,气体分子间的碰撞频率降低,热传导能力随压力降低而减小。通过测量加热丝与周围气体之间的热传导来间接测量气体压力。l举例:热偶真空计,利用加热丝和热电偶组成测量电路,加热丝通电发热,热电偶测量加热丝的温度,当气体压力变化时,热传导情况改变,导致加热丝温度变化,热电偶产生的热电势也随之变化,通过测量热电势来确定气体压力。电离真空计l原理:在高真空环境下,利用电子碰撞气体分子使其电...
真空计是用于测量真空度或气压的仪器,其安装的正确与否会直接影响测量的准确性和仪器的使用寿命,以下是安装时的注意事项:1.安装位置选择l避免气流影响:不要将真空计安装在气流湍急的区域,比如真空泵的排气口附近。高速流动的气体可能会干扰真空计内部的测量机制,导致测量结果出现较大偏差。应选择在气流相对稳定的位置安装,以保证测量的准确性。l远离热源:热源会使周围气体分子运动加剧,导致局部气压变化,影响真空计的测量精度。如远离加热炉、散热设备等,若无法避免,应采取有效的隔热措施。l考虑操...
VOGTLIN福特林流量计是一款高精度、高性能的流量测量设备,为了确保其测量的准确性和延长使用寿命,正确的使用与维护至关重要。以下是一份VOGTLIN福特林流量计的使用与维护指南:一、使用指南安装位置选择确保流量计安装在稳定、无震动的环境中,避免高温、湿度及化学腐蚀的影响。流量计的安装位置应便于操作和观察,同时要考虑流体流向和管道布局。确定流向在安装时,注意流量计的流向标识,确保流体流动方向与设备一致。安装前检查在安装前,检查流量计的外观,确保没有损坏或污垢。确认接头和管道无...