技术文章
Technical articles
站内搜索：
更新时间：2026-05-28
点击次数：9
INFICON 皮拉尼真空计选型（一）
什么时候选择皮拉尼真空计？
测量范围：5×10-2pa至大气压
INFICON皮拉尼真空计的型号有那些？
1. PSG5xx系列
（包括PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S ）
测量范围：5×10-2pa至大气压
测量精度
Accuracy(N2) |
|
|
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | ±15% |
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar | % of reading | ±50% |
100 … 1000 mbar | % of reading | ±50% |
2. PSG55x系列
（包括PSG550、PSG552、PSG554）
测量范围：5×10-3pa至大气压
测量精度
精度 (N2) | ||
5×10-4 … 1×10-3 毫巴 | %读数 | ±50 |
1×10-3 … 100 毫巴 | %读数 | ±15 |
100 … 1000 毫巴 | %读数 | ±50 |
3. PEG300系列
测量范围：1.3×10-4 … 1333mbar
测量精度
1.3 × 10-4 … 1.3 x 10-3 mbar | mbar | ±10 |
1.3 × 10-3 … 530 mbar | % of reading | ±10 |
530 … 1333 mbar | % of reading | ±2.5 |
1×10-4 … 1×10-3 Torr | 1×10-4 … 1×10-3 Torr | 0.1 mTorr resolution |
1×10-3 … 400 Torr | % of reading | ±10 |
400 … 1000 Torr | % of reading | ±2.5 |
当前位置：
