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更新时间：2026-05-07
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针对 INFICON PSG500-S 真空计出现 “真空度来回飘" 的问题，清洁是排查步骤之一，但需优先确认故障类型。以下是针对该型号的安全清洁指南与故障排查方案。
1. 断电与泄压：清洁前必须关闭电源，并确保真空计与真空系统已泄压至常压，严禁在真空或带电状态下操作。
2. 禁用强溶剂：严禁使用丙酮、酒精、强酸强碱等腐蚀性溶剂，以免损坏传感器内部的精密涂层与密封件。
PSG500-S 是皮拉尼 / 电容膜片组合真空计，核心清洁部位是传感器探头的进气口与膜片区域。
1. 拆卸：小心地从真空系统管路中拆下 PSG500-S 的传感器探头（通常是独立的金属探头）。
2. 外部清洁：用无尘布蘸取少量中性清洁剂（如微量洗洁精水），轻轻擦拭探头外壳和进气口的表面油污、灰尘。
3. 内部清洁 (关键)：
l 对于金属材质的进气口滤网：可用压缩空气（压力 < 0.5MPa）从反方向轻轻吹扫，或用软毛刷轻轻刷除粉尘。
l 对于传感器膜片：这是最易脏且影响测量的部件。绝对不能用布或棉签擦拭，会造成损伤。
l 正确方法：用洁净的氮气（Nitrogen）或干燥的高纯空气，从探头侧面以45 度角、低流量对着膜片表面轻轻吹洗，利用气流带走浮尘。
l 顽固污渍：如果有油污，可将探头（仅探头部分）放入盛有专用真空计清洗液（可向 INFICON 售后购买）的容器中，浸泡 5-10 分钟，然后取出用洁净氮气吹干。严禁液体进入探头内部电路。
4. 干燥：清洁后，将探头放置在洁净干燥环境中自然晾干或用氮气吹干，确保无任何液体残留后再安装。
清洁后若问题依旧，说明故障可能并非单纯污染，需按以下步骤排查：
排查方向 | 具体检查项 | 解决方法 |
物理泄漏 | 1. 检查真空计与系统连接的螺纹、快卸法兰是否拧紧，密封圈（O-ring）是否老化、变形或有划痕。2. 检查探头本身的密封焊缝是否有微裂。 | 1. 重新紧固接口，更换新的密封圈。2. 若焊缝损坏，需返厂维修。 |
系统污染 | 1. 真空系统内部是否有挥发性物质（如油脂、溶剂、水汽）未烘烤除气。2. 前级泵油是否乳化、污染。 | 1. 对系统进行长时间烘烤（Bake-out），去除水汽和挥发物。2. 更换前级泵油并清洁泵腔。 |
仪表本身 | 1. 零点漂移：在真空状态下，通过仪表菜单执行零点校准。2. 传感器老化：清洁并校准后，读数仍剧烈波动，可能是传感器内部元件老化。 | 1. 严格按照说明书执行零点校准。2. 联系 INFICON 售后检测或更换传感器探头。 |
电气干扰 | 1. 真空计的供电电源是否稳定，有无大功率设备干扰。2. 连接电缆是否破损、接地不良。 | 1. 使用稳压电源，确保独立接地。2. 更换屏蔽电缆，确保良好接地。 |
· 优先校准：清洁后，强烈建议通过 INFICON 的专业软件或仪表自带菜单进行全量程校准。
· 专业维修：如果以上步骤均无效，且真空度在低真空段（如 1-10 Pa）波动明显，通常是 ** Pirani 传感器故障；若在高真空段 **（<1e-3 Pa）波动，则是电容膜片传感器问题。这两种情况都需要由 INFICON或授权服务商进行专业检测和维修，切勿自行拆解内部电路。
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