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更新时间：2026-02-10
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真空系统内残留的油污、水汽、化学挥发物等杂质，会附着在真空计的传感器表面（如热阴极电离规的灯丝、冷阴极规的电极、电容式薄膜规的膜片），导致传感器响应特性改变：
• 热阴极规：油污附着使灯丝发射电子效率下降，电离能力减弱，读数偏低且逐渐漂移；
• 电容式薄膜规：膜片沾染杂质后弹性系数变化，压力感应精度降低，出现无规律漂移；
• 水汽凝结会造成 “假高压" 漂移，尤其在低真空向高真空过渡阶段。
1. 针对性清洁传感器：
◦ 热阴极电离规：关闭电源冷却后，拆下灯丝组件，用异丙醇浸泡 10-15 分钟，用无尘布轻擦电极表面，烘干后重装；严重污染时需更换灯丝。
◦ 电容式薄膜规：用无水乙醇擦拭膜片外侧（禁止触碰内侧敏感区），自然风干后进行零点校准。
◦ 冷阴极规：用氩气等离子体清洗电极（需专业设备），去除表面沉积物。
1. 净化系统环境：
◦ 更换真空泵油（油润滑泵），确保油质无杂质、不乳化；
◦ 在系统入口加装分子筛或活性氧化铝干燥器，吸附水汽和有机物；
◦ 高真空系统需提前烘烤除气（温度 80-120℃，持续 2-4 小时），去除管路内壁吸附的气体。
1. 规范操作流程：
◦ 避免在系统附近使用易挥发化学品（如丙酮、硅胶）；
◦ 每次停机前先通干燥氮气破空，防止空气携带水汽进入。
真空计对供电电压、频率的稳定性要求非常高，供电异常会直接影响传感器工作参数：
• 电压波动（±5% 以上）：导致热阴极灯丝电流不稳定，电离规读数线性漂移；
• 高频干扰（如附近有变频器、电机）：电容式薄膜规的信号被干扰，出现跳变式漂移；
• 接地不良：形成杂散电流，影响传感器信号传输，造成无规律漂移。
1. 优化供电配置：
◦ 为真空计配备独立稳压电源（精度≥0.1%），避免与大功率设备共用同一回路；
◦ 加装电源滤波器（抑制 10kHz-1GHz 高频干扰），减少电磁辐射影响。
1. 规范接地与布线：
◦ 采用单点接地方式，接地电阻≤4Ω，避免形成接地环路；
◦ 信号线缆与动力线缆分开布线（间距≥30cm），采用屏蔽线缆并做好屏蔽层接地。
1. 定期检查电源参数：
◦ 用万用表测量供电电压，确保符合真空计额定要求（如 DC 24V±0.5V）；
◦ 检查电源插头、接线端子是否松动，及时紧固氧化触点。
管路、接头、阀门等部位的微小泄漏，会使外界空气（含氮气、氧气、水汽）持续渗入系统，破坏真空环境稳定性：
• 低真空阶段（10³-10⁻¹Pa）：泄漏导致压力无法稳定下降，读数反复波动；
• 高真空阶段（10⁻²-10⁻⁵Pa）：微量泄漏会使读数缓慢上升，呈现 “渐进式漂移"；
• 特征判断：关闭真空泵后，压力快速回升（超过正常漏气率），且漂移方向始终为压力升高。
1. 定位泄漏点：
◦ 采用 “肥皂水检漏法"：将稀释的肥皂水涂抹在管路接头、阀门法兰处，观察是否产生气泡；
◦ 高真空系统用氦质谱检漏仪（灵敏度可达 10⁻¹²Pa・m³/s），精准定位微小泄漏。
1. 修复泄漏部位：
◦ 接头松动：重新紧固螺纹接头，更换老化的密封圈（选用氟橡胶或真空脂密封）；
◦ 管路破损：切割破损段，重新焊接或更换新管路；
◦ 阀门内漏：更换阀门密封件或整体更换阀门（优先选用真空隔膜阀，密封性能更优）。
1. 加强系统密封维护：
◦ 定期更换密封圈（建议每 6-12 个月检查一次），避免老化开裂；
◦ 法兰连接面需打磨平整，涂抹真空硅脂（高真空系统用全氟聚醚真空脂），确保密封贴合。
1. 快速排查流程：
◦ 第yi步：关闭系统，单独测试真空计（接标准真空罐），若仍漂移→电源或传感器问题；
◦ 第二步：检查供电和接地后仍漂移→传感器污染，需清洁校准；
◦ 第三步：系统接入后漂移→管路泄漏或系统污染，按上述方法排查。
1. 定期维护预防：
◦ 每 3-6 个月清洁一次传感器，每年进行一次零点校准和线性校准；
◦ 高真空系统每 12 个月做一次全面检漏，更换老化密封件和真空泵耗材；
◦ 建立漂移记录档案，若漂移量超过真空计精度允许范围（如 ±2% FS），及时检修。
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