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Technical articlesINFICON UL1000和UL3000氦质谱检漏仪有以下区别:
性能方面
• 检测速度:UL3000有着当今市场上极快的泄漏检测速度。相比之下,UL1000的检测速度虽也较快,但不如UL3000突出。例如,UL3000的HYDRO - S软件可消除系统中的水汽,使泄漏检测过程更加迅速。
• 本底抑制:UL3000的I·ZERO 2.0是智能的抑零功能,可在维持高测量灵敏度时实现快速本底抑制。UL1000虽有 selectable background suppression(I zero)功能,但在本底抑制的速度和智能化程度上可能不如UL3000。
设计方面
• 外形设计:UL3000具有低重心、大底轮、符合人体工程学设计的手柄和纤薄外壳,即使在狭小的空间内也能移动自如。UL1000则更注重紧凑设计,以确保高机动性,方便进入空间受限的维护区域。
• 显示与控制:UL3000采用新型触摸屏显示器,可远距离显示测量结果和状态信息,还可通过智能手机或平板电脑进行无线控制,无需特殊软件或应用程序。UL1000有可旋转显示屏、光学和听觉泄漏指示,也有可选的遥控器,不过在显示的便捷性和控制的灵活性上不如UL3000。
适用场景方面
• UL3000:专为满足半导体制造领域的专业要求而开发,如半导体和光电显示(包括子部件)的泄漏测试。
• UL1000:适用于工业真空和半导体制造等多种场景,如工业真空设备制造、真空部件或子组件的检测、真空工具的维护等。
真空系统方面
• UL3000:改进后的真空系统采用低维护真空泵设计,在大气压力下即可检测泄漏。
• UL1000:有不同的前级真空泵类型选择,如UL1000采用油封式前级真空泵,UL1000 Fab采用干式压缩前级真空泵。
价格方面
一般来说,由于UL3000在性能、设计等方面更为先进,功能也更强大,其价格通常会比UL1000要高。