检漏仪的工作原理

检漏仪按原理分5类，核心是捕捉泄漏带来的压力、气体、声波、红外、真空信号变化，以下是通俗原理与适用场景：

一、氦质谱检漏仪（最gao精度）

原理：以氦气为示踪气体→被检件抽真空 / 充氦→漏孔处氦气进入→质谱仪电离→按质荷比筛选氦离子→测离子流强度算漏率。

特点：灵敏度非常高（可达 10⁻¹² Pa・m³/s），抗干扰强。

用途：半导体、真空器件、航空航天、精密密封件。

二、压力 / 差压式气密性检漏仪（zui通用）

原理：向密闭工件充入气体→稳压→监测压力降 / 差压变化→按理想气体方程算泄漏率。

分支：压力衰减、差压、流量、真空衰减。

特点：成本低、速度快、适合批量检测。

用途：汽车零部件、阀门、电池包、家电壳体。

三、超声波检漏仪（快速定位）

原理：气体 / 液体高速泄漏产生湍流超声波（>20kHz）→探头接收→滤波放大→声光报警定位。

特点：非接触、可在嘈杂环境定位。

用途：压缩空气 / 燃气管道、真空舱、门窗密封、压力容器巡检。

四、红外/气体传感器检漏仪（特定气体）

原理：

l NDIR 红外：气体吸收特征红外波长，测光强变化算浓度。

l 催化 / 电化学：与目标气体反应，输出电信号。

用途：制冷剂（卤素）、SF6、天然气、氢气、可燃 / 有毒气体泄漏。

五、真空检漏仪（负压系统）

原理：工件抽真空→监测真空度变化或示踪气体进入量→判断泄漏。

用途：真空炉、镀膜机、真空管道、电子管。

快速选型

l 微漏、高精度→氦质谱

l 批量气密性→压力/差压

l 现场快速找漏点→超声波

l 特定气体（冷媒、SF6、燃气）→红外/气体传感器

l 真空设备→真空检漏

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