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产品简介
HTC日扬钢珠式气动插板阀（GVBB-SS-CF-P），采用 CF 超高真空法兰连接，波纹管 + 金属密封圈密封结构；阀体为不锈钢材质，泄漏率低，可烘烤，广泛应用于各类超高真空系统，用来实现真空管路通断，是真空镀膜、半导体、科研真空设备常用真空阀件。
| 品牌 | HTC日扬 | 电动机功率 | 0kW |
|---|---|---|---|
| 重量 | 22.2kg | 应用领域 | 半导体,机械设备 |
1. 钢珠锁紧结构，启闭稳定，定位可靠；气动驱动，适合远程自动化控制
2. 全金属密封 + 金属波纹管，极低漏率，可承受烘烤，适配超高真空工况
3. CF 标准法兰，真空行业通用标准，拆装方便
4. 直通式流道，流阻小，通导性能优异
5. 阀体不锈钢材质，耐洁净气体腐蚀，无释气污染
l 半导体真空设备
l 真空镀膜
l 科研实验室超高真空系统
l 真空检测
l 氦检检漏设备
l 材料真空热处理
l 真空分析仪器
参数项目 | 参数值 |
驱动方式 | 气动 |
密封形式 | 金属密封圈 + 金属波纹管密封 |
法兰标准 | CF 超高真空法兰 |
工作压力范围 | 1×10⁻¹⁰ ~1000 mbar |
极限真空 | 1×10⁻¹⁰ mbar |
泄漏率 | ＜5×10⁻¹⁰ mbar·L/s |
流动方向 | 单向 |
通道类型 | 直通式 |
适用介质 | 洁净气体，超高真空环境，无颗粒洁净介质 |
阀体材质 | 不锈钢 |
烘烤温度 | 关闭 150℃；开启 200℃ |
型号 | 料号 | 接口 直径 | 阀盖密封 | 法兰 O.D. | 螺栓 P.C.D | 螺栓规格 * 数量 | 扭矩 (kg-cm) | 螺纹深度 | 参考 净重 |
GVBB-SS-CF63-P | GB3C511 | 63.7 | 金属 | 113.6 | 92.1 | M8*8 | 210 | 18 | 7.8 |
GVBB-SS-CF100-P | GB3E511 | 102 | 金属 | 151.6 | 130.3 | M8*16 | 210 | 20 | 12.3 |
GVBB-SS-CF150-P | GB3F511 | 153 | 金属 | 202.5 | 181 | M8*20 | 210 | 22 | 22.2 |
GVBB-SS-CF200-P | GB3G511 | 200 | 金属 | 253.2 | 231.8 | M8*24 | 210 | 24 | 30.6 |
GVBB-SA-CF275-P | GB3H511 | 255 | 金属 | 336.5 | 306.3 | M10*30 | 360 | 24 | 47.5 |
型号 | 料号 | A | B | C | D | E | F | G | H | L |
GVBB-SS-CF63-P | GB3C511 | 65 | 68 | 62 | 107 | 143 | 158 | 207 | 155 | 362 |
GVBB-SS-CF100-P | GB3E511 | 69.6 | 68 | 94 | 146 | 182 | 222 | 297 | 170 | 467 |
GVBB-SS-CF150-P | GB3F511 | 79 | 70 | 94 | 204 | 238 | 306.5 | 407 | 198 | 605 |
GVBB-SS-CF200-P | GB3G511 | 84.4 | 70 | 94 | 245 | 282 | 382 | 506 | 198 | 704 |
GVBB-SA-CF275-P | GB3H511 | 98 | 75 | 114 | 321 | 360 | 500 | 650 | 282.5 | 932.5 |
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