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产品简介
HTC日扬钢珠式手动插板阀（GVBB-SS-CF-M），CF 法兰接口，波纹管结构、金属密封圈密封，适用于超高真空工况，阀体全金属密封，泄漏率低，操作稳定，广泛用于科研实验、半导体、真空镀膜等真空管路通断控制。
| 品牌 | HTC日扬 | 电动机功率 | 0kW |
|---|---|---|---|
| 重量 | 20.8kg | 应用领域 | 钢铁/金属,航空航天,半导体 |
产品特点
1. 全金属密封：金属密封圈密封，可达超高真空等级，耐烘烤，放气率低
2. 波纹管结构：隔离大气与真空腔体，杜绝外漏，真空性能稳定
3. 钢珠式传动结构：启闭顺滑，操作力矩小，阀板锁紧可靠
4. CF 标准法兰：符合真空行业 CF 法兰标准，通用性强，方便管路对接
5. 不锈钢阀体：抗腐蚀，耐高温，可烘烤除气，适配严苛真空工艺环境
l 半导体设备
l 真空镀膜设备
l 科研实验真空腔体
l 航天真空测试
l 冶金真空炉
l 材料制备真空系统
参数项目 | 参数值 |
驱动方式 | 手动（钢珠式锁紧） |
密封形式 | 金属密封圈 + 金属波纹管密封 |
法兰标准 | CF 超高真空法兰 |
工作压力范围 | 1×10⁻¹⁰ ~ 1000 mbar |
极限真空 | 1×10⁻¹⁰ mbar |
允许开启最大压差 | 27 mbar |
最大承受背压 | 1 bar（大气压） |
泄漏率 | ＜5×10⁻¹⁰ mbar·L/s |
阀门通道 | 直通式，单向流动 |
适用介质 | 洁净气体、无颗粒洁净介质、超高真空环境 |
关闭状态烘烤温度 | 150℃ |
开启状态烘烤温度 | 200℃ |
驱动部位最高温度 | ≤80℃ |
阀体材质 | 不锈钢 |
型号 | 料号 | 接口 直径 | 阀盖密封 | 法兰 O.D. | 螺栓 P.C.D. | 螺栓尺寸 * 数量 | 扭矩 (kg-cm) | 螺纹 深度 |
GVBB-SS-CF63-M | GB3C411 | 63.7 | 金属 | 113.6 | 92.1 | M8*8 | 210 | 18 |
GVBB-SS-CF100-M | GB3E411 | 102 | 金属 | 151.6 | 130.3 | M8*16 | 210 | 20 |
GVBB-SS-CF150-M | GB3F411 | 200 | 金属 | 253.2 | 181 | M8*20 | 210 | 22 |
GVBB-SS-CF200-M | GB3G411 | 200 | 金属 | 253.2 | 231.8 | M8*24 | 210 | 24 |
GVBB-SA-CF275-M | GB3H411 | 255 | 金属 | 336.3 | 306.3 | M10*30 | 360 | 24 |
型号 | 料号 | A | B | C | D | E | F | G | H | L |
GVBB-SS-CF63-M | GB3C411 | 65 | 68 | 70 | 107 | 143 | 158 | 207 | 160 | 367 |
GVBB-SS-CF100-M | GB3E411 | 69.6 | 68 | 70 | 146 | 182 | 222 | 297 | 160 | 457 |
GVBB-SS-CF150-M | GB3F411 | 79 | 70 | 78 | 204 | 238 | 306.5 | 407 | 183 | 590 |
GVBB-SS-CF200-M | GB3G411 | 84.4 | 70 | 78 | 245 | 282 | 382 | 506 | 183 | 689 |
GVBB-SA-CF275-M | GB3H411 | 98 | 75 | 99 | 321 | 360 | 500 | 650 | 340.5 | 990.5 |
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