PRECESS普瑞赛思真空传输门阀

PRECESS普瑞赛思真空传输门阀（V77系列）

低颗粒活化度和颗粒排放以及快速、可靠的打开和关闭循环方面的颗粒性能是半导体生产系统中大气传输门的关键性能指标。

新的V77 HV传送门插件与L-Motion结合了优秀的颗粒性能和优化的可控性，可实现可调、快速的循环时间。

通过优化各种设计特征，如板上用于均匀密封压缩的扭杆、完好封装的致动器、无润滑环境和具有可调速度曲线的真实L-Motion，以避免任何闭合冲击，实现了优秀的颗粒性能。

V77具有可调速度曲线的优秀真实L-Motion是通过PRECESS的特殊L-Motion技术实现的，该技术有两个独立的执行器，用于垂直和水平移动。结果：一种高度可靠的执行器概念，具有快速、稳定、可调节和无冲击的运动。好处：更长的正常运行时间和更好的可控性。

PRECESS普瑞赛思真空传输门阀（V77系列）

特征：

l半标准应用（Semi E21-94 Semi E24-92 Semi-E21.1-1296）

l阀盖法兰真空侧的防尘密封，几乎消除了颗粒物进入波纹管

l无颗粒和振动

优点：

l实现精确的L动作

l易于维护

应用：

l半导体加工

l等离子体蚀刻、CVD、溅射沉积

l太阳能电池板制造

lLCD/平板工艺

l所有其他集群和内联真空系统

技术参数