Bronkhorst FLEXI-FLOW气体质量流量计

精度 (N2, Air, O2)

其他气体见多气体表格

up to ±0.5% Rd plus ±0.1% FS

重复性

< ± 0.2% Rd

控制中的典型设定时间 (T98)

<150 ms

响应时间 (T63)

<30 ms

长期稳定性

<0.5% FS over period of 3 years,  then <0.2% FS per year

控制稳定性

< ± 0.1% FS (typical for 1 ln/min N2)

控制范围/测量范围

up to 1:1000

多气体多量程

embedded gas data for 22 unique gases  plus any mixture of these gases

操作温度

0...50 °C (32°F - 122°F)

储存/运输条件

-20…50 °C

温度敏感性

zero 0.015 % FS/°C

span 0.05 % Rd/°C

压力敏感性

standard: < 0.15% Rd/bar typical N2;

with pressure correction: < 0.02% Rd typical N2

安装方位

any position, attitude sensitivity negligible

温度

精密温度传感器

±0.2 °C (instrument body temperature)

压力

精确压力传感器

(包括线性和滞后)

±0.5% FS

压力范围

0...17 bar(a)

重复性压力传感器

<0.2% FS

温度敏感性

zero:  0.16 mbar/°C

span: 0.05% Rd/°C

机械部件

材质(接液部件)

aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminiumoxide, glass

工艺接头

optional compression type, push-in or  face seal couplings

密封圈

default: FKM 51415

For other materials contact factory

压力等级

16 bar(g) / 250 psi(g)

接口泄漏率

tested < 2·10-9 mbar.l/s He

阀门关闭泄漏率

typical < 1·10-4 mbar·l/s He

主体表面光洁度

(接液部件)

<1.6 μm Ra (<0,8 μm Ra for stainless steel body)

防护等级 (外壳)

IP40

重量

Aluminium body: 200 g Stainless steel body: 300 g

电气性能

电源

24 Vdc ± 10%

电气连接

9-pin D-sub male

功耗

meter    0.35 Watt

Controller 2.0 Watt

数字通信

Modbus RTU

FLOW-BUS

证书

CE / RoHS