使用Alicat MCVS防腐蚀真空气体质量流量控制器配备气动截止阀，可用于控制真空应用中 128 多种气体（包括 30 多种腐蚀物）的质量流量或压力。

Alicat MCES防腐蚀气体质量流量控制器配备 1/4 英寸 VCR 配件，并与 SEMI 标准 MFC 端到端匹配，可轻松直接升级到真空沉积装置，控制 98 多种气体的质量流量或压力。可以控制腐蚀性气体。

Alicat MCDS防腐蚀双向气体质量流量控制器可以同时控制质量流量、体积流量或气体压力方向，同时测量多达 130 种气体的流量、气体压力和气体温度，包括 30 多种腐蚀物。

Alicat MCDW低压损双向气体质量流量控制器可以在可用系统压力非常小时（压降低至 0.07 PSID）时控制两个方向的质量流量、体积流量或气体压力。

Alicat艾里卡特科里奥利质量流量泵控制器很容易与现有的液体或气体泵过程集成，无需单独的PID控制器即可实现自动化。该控制器还可以配置为命令阀门与加压气体一起使用。 该精密控制器读取质量流量在40毫秒，并发送数字信号，以控制泵在140毫秒。控制器兼容高达200 cP的气体和液体，流速高达300 kg/h。

Alicat艾里卡特MBS耐腐蚀气体质量流量计（便携式）可测量 130 多种气体的质量流量和体积流量，包括 32 多种腐蚀性气体，使其成为流动腐蚀性气体过程的移动校准、验证和验证的理想选择。

Alicat艾里卡特MWB低压损气体质量流量计（便携式）测量质量和体积流量,压力降至0.07pid(4.8mb),用于没有可用压力的系统。

Alicat艾里卡特MBQ便携高压气体质量流量计在操作压力下测量质量和体积流量最高为320psIA(22bra)。

Alicat艾里卡特PCS系列防腐蚀压力控制器(绝对压力和测量)控制所有无腐蚀性气体的绝对压力或表压压力,适用腐蚀性气体和各种液体。

Alicat艾里卡特PC3系列压力控制器（带远程传感）测量系统中任何一点的绝对压力或测量压力,控制不同点的流量,这样你就可以在需要的地方保持压力。