技术文章
Technical articles
站内搜索：
在生产与实验场景中，传感器损坏、漂移是Alicat流量计/流量控制器最常见的故障，直接影响测量精度。基于层流差压原理，设备内置温度、绝压、差压传感器，部分型号含大气压传感器；FP25大气采样流量校准器额外配备湿度传感器，用于补偿水蒸气对测量的影响。三类传感器异常对测量准确性的影响程度：差压绝压温度。一、传感器常见影响因素1.温度传感器·异常诱因：内部接线不良、剧烈震动、电路板损坏、超温度量程使用。·常规量程：-10℃~60℃（具体以型号参数为准）。2.绝压/表压/差压传感器·...
Alicat艾里卡特PC系列压力控制器，是专为气体压力闭环调控打造的经典旗舰产品，适配绝压、表压、差压全类型应用。依托高精度压力传感技术与动态比例阀核心结构，设备可实时采集管路压力信号，高速驱动内置调节阀主动抵消气源波动、流量扰动等压力偏差，单台设备即可实现精准恒压控制，无需外置稳压装置。核心技术优势设备搭载自研动态PID调节算法，与内置比例阀深度协同，实现压力突变快速响应与优秀抗波动能力，复杂气路环境下仍可保持长期稳定运行。同时配备实时温度监测功能，全面掌控气路工况；整机无...
Alicat(艾里卡特)流量计是基于层流压差原理的高精度质量流量检测设备，具备无需温压补偿、响应速度快、测量精度高、可双向测量的特点，广泛应用于实验室气体检测、精密制程、新能源、化工、半导体等领域。设备对操作规范性要求较高，不规范操作易出现零点漂移、数据波动、测量失准等问题。为统一作业标准、保障检测数据精准、延长设备使用寿命、规避设备故障，特制定本标准化操作规范与使用指南。一、开机前检查规范1.工况与环境检查设备需放置在平稳、无尘、干燥、无强电磁干扰的环境中运行，远离振动设备...
真空质量流量控制器是专门适配真空系统场景，用于高精度测量和控制真空气体质量流量的专用设备，是半导体、真空镀膜等制造领域的核心器件。真空质量流量控制器核心原理与分类：真空质量流量控制器本质是带控制功能的质量流量测量设备，基于不同测量原理可分为三类：热式：基于热扩散原理，通过测量气体带走的热量计算质量流量，响应速度快，但测量结果依赖气体热传导特性，易受成分影响。层流压差式：基于哈根-泊肃叶定律，利用层流元件产生的压差和质量流量的正比关系测量，结果不受气体种类影响，零...
一、泄漏的定义气体泄漏量指单位时间内通过某截面的气体总量，以压力、体积或质量为计量依据。体积泄漏量核心公式：·Q：泄漏流量·ΔP：压力变化量·V：测试体积·ΔT：测试时间常用泄漏单位ccm（毫升/分钟）、cc/s（毫升/秒）、Pa・m³/s；真空领域常用mbar・l/s（1mbar·l/s=1cc/s）。二、气密性检测的核心意义1.延长产品使用寿命2.保障使用安全性3.确保实验/生产质量达标4.符合环境法规要求5.满足全球通用质量标准6.提升终端用户对产品质量的信任度7.精准...
一、泄漏的核心类型漏孔是工件壁面的贯通结构，气体/液体可通过其逸出，主要分为常规漏孔、渗透型漏孔、多孔区域、蠕性漏孔四类，其中蠕性漏孔检测难度最高。蠕性漏孔的特殊性：介质不会立即泄漏，需缓慢通过狭窄通道、毛细管系统，或先填满工件壁内空腔才能逸出，短时间内极难检测，是检漏工作的重点难点。二、三大基础漏孔几何类型漏孔的几何形态直接影响泄漏特性，主要分为圆形孔、缝隙型、多孔渗透型三类，不同几何结构的漏率、检测难度差异显著。三、漏率：定义与核心单位1.漏率定义漏率是描述介质体积流量的...
一、先进制程对真空的“苛刻底线”（3nm→2nm→GAA）3nm及以下核心特点：EUV、原子层级沉积/刻蚀、很高良率要求、极低缺陷容忍度。真空波动直接导致：线宽CD偏移、侧壁粗糙度、厚度不均、颗粒/金属污染、漏电与良率雪崩。·EUV环境：10⁻⁶～10⁻⁷Pa，波动·ALD/Highk沉积：10⁻⁶～10⁻⁹Pa，稳态误差±0.1%FS·等离子刻蚀（FEOL/GAA）：10⁻²～10⁻⁵Pa，压力波动·离子注入：10⁻⁴～10⁻⁷Pa，杂质分压控制10⁻¹⁰Pa...
新能源汽车动力电池正朝着高能量密度、高安全标准、全固态化与智能制造快速迭代，直接推动真空干燥与检漏设备从“辅助工艺”升级为核心质控与合规门槛，核心是更严苛的精度、稳定性、洁净度与全链路数据追溯能力。一、动力电池核心趋势：倒逼设备升级1.高能量密度（300+Wh/kg）1.高镍三元（NCM811/9系）、硅碳负极、超薄极片大规模应用，水分敏感度倍增：残留水分＞100ppm即引发电解液分解、SEI膜不稳定、产气鼓包与循环跳水。2.安全法规收紧（GB38031-2025，2026....
当前位置：
