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  • 653xx-JAAHVAT 65.3控压真空摆阀

    VAT 65.3控压真空摆阀设定了下游压力控制和隔离的新标准。该系列控压摆阀专为半导体和显示器生产系统而设计,可在较宽的流导范围内提供稳定精确的可控性。65.3 控压摆阀配备带有集成位置控制的电机,可提供改进功能。驱动器控制器具有更高的 32 位数据处理能力,可提供全新可控性。

    更新时间:2024-03-23
    产品型号:653xx-JAAH
    浏览量:250
  • 61.3系列VAT 61.3压力控制蝶阀

    VAT 61.3压力控制蝶阀在所有条件下均能实现出色的压力控制;凭借其快速且精准的作用动作控制器(0.1 秒),61.3系列控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。

    更新时间:2024-04-12
    产品型号:61.3系列
    浏览量:731
  • 福特林M-Flow精细剂量高精度气体控制阀

    vogtlin福特林M-Flow精细剂量高精度气体控制阀可用于气体精细剂量与控制,适用于精确调配气体流量的 OEM 客户。

    更新时间:2024-04-18
    产品型号:
    浏览量:119
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