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产品中心INFICON英福康HP100INFICON英福康气体分析仪
产品简介
INFICON英福康气体分析仪（HP100）基于自等离子体光发射光谱技术（SPOES），旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。
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产品分类| 品牌 | INFICON/美国 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,汽车及零部件,电气 |
INFICON英福康气体分析仪（HP100）
基于自等离子体光发射光谱技术（SPOES），旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。Quantus HP100具有出色的灵敏度，外形紧凑，提供宽广的操作压力范围，无需昂贵的泵，因此非常适合大多数半导体工具的过程监控和保护。
特点
l 氩气的操作范围为1 Torr - 450 Torr，氮气的操作范围为1 Torr - 120 Torr（其他气体种类则有所不同）
l 低检测限<1 ppm
l 使用标准KF25连接，安装方便
l 快速采样（最大20赫兹）
l 占地面积小（高x宽x长）：6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm］
l 低维护，不需要泵或消耗品
l 方便的现场可更换的等离子池
l 为您的特殊工艺需求提供全球专家支持
INFICON英福康气体分析仪（HP100）
技术规格
操作压力 | 1 Torr - 450 Torr (取决于应用) |
光谱仪性能 | 200至850纳米波长（紫外-可见光） 16位全尺度分辨率，3648像素 |
检测极限 | < 1 ppm (取决于应用) |
曝光时间 | 最少1毫秒 |
真空配件 | KF25 |
杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
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