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Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计

产品简介

Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计(PTR90)精度高,外形小巧,占用空间小。它们采用杰出的技术,其真空测量能力达到很高水平。

产品型号:PTR90
更新时间:2025-01-17
厂商性质:代理商
访问量:128
详细介绍在线留言
品牌Leybold/德国莱宝真空接口DN 25 ISO-KF
量程5×10⁻⁹ 到1000mbar测量原理冷阴极和热阴极(灯丝)相结合
价格区间1万-2万产地类别进口
应用领域环保,生物产业,能源,制药

有源 PENNINGVAC 系列 PTR 90/225 RN 产品拥有多种增强功能,可在严苛的应用中延长真空计的保养间隔。与组合式传感器所支持的低开启压力相结合,非常适合从粗真空到高真空测量的多种应用。

Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计


Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计(PTR90)是一款用于精确压力测量的多功能有源传感器,具有以下特点

l测量范围广:压力范围从 1×10⁻⁸ mbar 1000 mbar,部分型号如 PTR 90 N 的测量范围为 5×10⁻⁹ mbar1000 mbar

l精度较高:在 1×10⁻⁸1×10⁻² mbar 范围内,精度小于测量值的 30%;在 1×10⁻² 10 mbar 范围内,精度小于测量值的 15%

l稳定性强:采用冷阴极和灯丝皮拉尼等技术,可在恶劣环境中稳定工作,减少灰尘和颗粒污染的影响

l接口丰富:有数字或模拟(RS232 485)接口可供选择,部分型号配备 RJ45/FCC68 连接器

l显示直观:配备自适应 LED 压力指示,通过脉冲模式显示压力信息

l紧凑尺寸,易于集成

l冷阴极坚固耐用 - 即装即用

Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计


PENNINGVAC PTR 90 RN:组合式冷阴极真空计

我们的组合式冷阴极真空计采用冷阴极电离的反磁控管原理,并与皮拉尼真空计相结合。


通过将这些技术组合到一个更紧凑的传感器中,扩大了真空计量程,能够可靠测量大气压到 1 x 10-9的压力。


冷阴极的开/关功能由集成式皮拉尼真空计自动控制,无缝消除了在压力过高情况下运行冷阴极的任何风险,该风险可能会导致真空计使用寿命缩短。


提供模拟 0-10V 线性输出和数字通信。

Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计


行业应用


半导体行业

薄膜沉积:在半导体芯片制造过程中,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等薄膜沉积工艺,需要精确控制反应腔室中的真空度。PTR90 可实时准确测量腔室内的压强,确保沉积过程在合适的真空环境下进行,从而保证薄膜的质量和性能,如薄膜的厚度均匀性、附着力等。


离子注入:离子注入是半导体制造中的重要掺杂工艺,需要高真空环境以避免杂质干扰。PTR90 能精确监测真空度,为离子注入设备提供准确的压强数据,确保离子束能够准确地注入到半导体材料中,实现对半导体材料电学性能的精确控制。


真空镀膜行业

光学镀膜:在光学镜片、滤光片等光学元件的镀膜过程中,需要严格控制镀膜腔室的真空度。PTR90 可帮助维持稳定的真空环境,确保镀膜材料能够均匀地沉积在光学元件表面,提高镀膜的质量和光学性能,如反射率、透过率等。


装饰镀膜:在手表带、手机外壳等产品的装饰性镀膜中,PTR90 可确保镀膜过程在合适的真空度下进行,使镀膜层具有良好的附着力、色泽和耐腐蚀性,提高产品的外观质量和使用寿命。


真空炉领域

金属材料热处理:在金属材料的真空热处理过程中,如真空淬火、真空回火等,PTR90 可实时监测真空炉内的压强变化,确保炉内处于高真空或特定的真空环境,防止金属材料在热处理过程中氧化、脱碳等,提高金属材料的性能和质量。


陶瓷材料烧结:对于陶瓷材料的真空烧结,PTR90 能够精确测量和控制烧结炉内的真空度,有助于排除炉内的气体杂质,促进陶瓷材料的致密化烧结,提高陶瓷材料的致密度、硬度和强度等性能。


分析仪器行业

质谱仪:在质谱分析中,需要高真空环境来保证离子的传输和检测效率。PTR90 可作为质谱仪的真空监测部件,实时测量离子源、质量分析器等部位的真空度,确保仪器正常运行,提高质谱分析的灵敏度和准确性。


电子显微镜:电子显微镜需要在高真空环境下工作,以避免电子束与气体分子的相互作用。PTR90 可为电子显微镜提供精确的真空度测量,确保电子枪、样品室等部位处于良好的真空状态,从而获得高分辨率、高质量的图像。


其他领域

航空航天:在航空航天零部件的制造和测试过程中,如真空钎焊、真空检漏等工艺,PTR90 可用于测量和控制真空度,保证零部件的质量和可靠性,满足航空航天领域对高性能、高可靠性材料和部件的要求。


科研实验:在各类物理、化学、材料等科研实验中,如表面科学研究、纳米材料制备、等离子体物理实验等,PTR90 可作为重要的真空测量工具,帮助研究人员精确控制实验环境的真空度,确保实验结果的准确性和可重复性。

Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计


Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计

技术参数

产品名称

PTR90RN

测量范围

1e-9 mbar,最高 1000

精确度

小于测量值的30%,范围为1e-8至1e-2 mbar
小于测量值的15%,范围为1e-2至10 mbar

供电电压

15 至 48Vd.c.

电气连接

RJ45/9 针 D-sub

模拟输出 (2*L***1***)

0-10 VDC

串行输出 (2*L***5***/2*L***0***)

RS232 或 RS485

设置点

1

继电器触点额定值

最大 48VDC,500 mA

状态指示灯

360° 明亮 LED 灯环

最大电缆长度 (m)

100

过压限值 (bar)

10

工作温度范围

5至60℃

储存温度

-30至70℃

最高烘烤温度(已拆下电子器件)

150℃

最大相对湿度

在不高于 31°C 温度下,相对湿度为 80%;在 40°C 及以上温度,相对湿度呈线性下降至 50%

死容积

20cm3

重量(取决于法兰)

350g,DN 25 KF
380g,DN 40 KF
630g,DN 40 CF

防护等级

IP40

认证

CE、UKCA

兼容的控制器

显示屏(一个、三个),GRAPHIX,TURBO.CONTROL i




产品选型

Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计



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