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Leybold莱宝
Leybold莱宝真空计
PTR90Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计
Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计(PTR90)精度高,外形小巧,占用空间小。它们采用杰出的技术,其真空测量能力达到很高水平。
product
产品分类品牌 | Leybold/德国莱宝 | 真空接口 | DN 25 ISO-KF |
---|---|---|---|
量程 | 5×10⁻⁹ 到1000mbar | 测量原理 | 冷阴极和热阴极(灯丝)相结合 |
价格区间 | 1万-2万 | 产地类别 | 进口 |
应用领域 | 环保,生物产业,能源,制药 |
有源 PENNINGVAC 系列 PTR 90/225 RN 产品拥有多种增强功能,可在严苛的应用中延长真空计的保养间隔。与组合式传感器所支持的低开启压力相结合,非常适合从粗真空到高真空测量的多种应用。
Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计(PTR90)是一款用于精确压力测量的多功能有源传感器,具有以下特点:
l测量范围广:压力范围从 1×10⁻⁸ mbar 到 1000 mbar,部分型号如 PTR 90 N 的测量范围为 5×10⁻⁹ mbar到1000 mbar
l精度较高:在 1×10⁻⁸至 1×10⁻² mbar 范围内,精度小于测量值的 30%;在 1×10⁻² 至 10 mbar 范围内,精度小于测量值的 15%
l稳定性强:采用冷阴极和灯丝皮拉尼等技术,可在恶劣环境中稳定工作,减少灰尘和颗粒污染的影响
l接口丰富:有数字或模拟(RS232 或 485)接口可供选择,部分型号配备 RJ45/FCC68 连接器
l显示直观:配备自适应 LED 压力指示,通过脉冲模式显示压力信息
l紧凑尺寸,易于集成
l冷阴极坚固耐用 - 即装即用
PENNINGVAC PTR 90 RN:组合式冷阴极真空计
我们的组合式冷阴极真空计采用冷阴极电离的反磁控管原理,并与皮拉尼真空计相结合。
通过将这些技术组合到一个更紧凑的传感器中,扩大了真空计量程,能够可靠测量大气压到 1 x 10-9的压力。
冷阴极的开/关功能由集成式皮拉尼真空计自动控制,无缝消除了在压力过高情况下运行冷阴极的任何风险,该风险可能会导致真空计使用寿命缩短。
提供模拟 0-10V 线性输出和数字通信。
行业应用
半导体行业
薄膜沉积:在半导体芯片制造过程中,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等薄膜沉积工艺,需要精确控制反应腔室中的真空度。PTR90 可实时准确测量腔室内的压强,确保沉积过程在合适的真空环境下进行,从而保证薄膜的质量和性能,如薄膜的厚度均匀性、附着力等。
离子注入:离子注入是半导体制造中的重要掺杂工艺,需要高真空环境以避免杂质干扰。PTR90 能精确监测真空度,为离子注入设备提供准确的压强数据,确保离子束能够准确地注入到半导体材料中,实现对半导体材料电学性能的精确控制。
真空镀膜行业
光学镀膜:在光学镜片、滤光片等光学元件的镀膜过程中,需要严格控制镀膜腔室的真空度。PTR90 可帮助维持稳定的真空环境,确保镀膜材料能够均匀地沉积在光学元件表面,提高镀膜的质量和光学性能,如反射率、透过率等。
装饰镀膜:在手表带、手机外壳等产品的装饰性镀膜中,PTR90 可确保镀膜过程在合适的真空度下进行,使镀膜层具有良好的附着力、色泽和耐腐蚀性,提高产品的外观质量和使用寿命。
真空炉领域
金属材料热处理:在金属材料的真空热处理过程中,如真空淬火、真空回火等,PTR90 可实时监测真空炉内的压强变化,确保炉内处于高真空或特定的真空环境,防止金属材料在热处理过程中氧化、脱碳等,提高金属材料的性能和质量。
陶瓷材料烧结:对于陶瓷材料的真空烧结,PTR90 能够精确测量和控制烧结炉内的真空度,有助于排除炉内的气体杂质,促进陶瓷材料的致密化烧结,提高陶瓷材料的致密度、硬度和强度等性能。
分析仪器行业
质谱仪:在质谱分析中,需要高真空环境来保证离子的传输和检测效率。PTR90 可作为质谱仪的真空监测部件,实时测量离子源、质量分析器等部位的真空度,确保仪器正常运行,提高质谱分析的灵敏度和准确性。
电子显微镜:电子显微镜需要在高真空环境下工作,以避免电子束与气体分子的相互作用。PTR90 可为电子显微镜提供精确的真空度测量,确保电子枪、样品室等部位处于良好的真空状态,从而获得高分辨率、高质量的图像。
其他领域
航空航天:在航空航天零部件的制造和测试过程中,如真空钎焊、真空检漏等工艺,PTR90 可用于测量和控制真空度,保证零部件的质量和可靠性,满足航空航天领域对高性能、高可靠性材料和部件的要求。
科研实验:在各类物理、化学、材料等科研实验中,如表面科学研究、纳米材料制备、等离子体物理实验等,PTR90 可作为重要的真空测量工具,帮助研究人员精确控制实验环境的真空度,确保实验结果的准确性和可重复性。
Leybold莱宝PENNINGVAC冷阴极真空计
技术参数
产品名称 | PTR90RN |
测量范围 | 1e-9 mbar,最高 1000 |
精确度 | 小于测量值的30%,范围为1e-8至1e-2 mbar |
供电电压 | 15 至 48Vd.c. |
电气连接 | RJ45/9 针 D-sub |
模拟输出 (2*L***1***) | 0-10 VDC |
串行输出 (2*L***5***/2*L***0***) | RS232 或 RS485 |
设置点 | 1 |
继电器触点额定值 | 最大 48VDC,500 mA |
状态指示灯 | 360° 明亮 LED 灯环 |
最大电缆长度 (m) | 100 |
过压限值 (bar) | 10 |
工作温度范围 | 5至60℃ |
储存温度 | -30至70℃ |
最高烘烤温度(已拆下电子器件) | 150℃ |
最大相对湿度 | 在不高于 31°C 温度下,相对湿度为 80%;在 40°C 及以上温度,相对湿度呈线性下降至 50% |
死容积 | 20cm3 |
重量(取决于法兰) | 350g,DN 25 KF |
防护等级 | IP40 |
认证 | CE、UKCA |
兼容的控制器 | 显示屏(一个、三个),GRAPHIX,TURBO.CONTROL i |
产品选型