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Leybold莱宝
Leybold莱宝真空计
TTR101Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计
Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计(TTR101)的测量范围从 5×10⁻⁵ 到1500 mbar,能够满足从粗真空到高真空的测量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的测量范围之间,测量精度高,且不受被测气体的影响,可提供准确可靠的测量结果。
product
产品分类品牌 | Leybold/德国莱宝 | 真空接口 | DN 16 ISO KF |
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量程 | 5×10⁻⁵ 到1500mbar | 测量原理 | 皮拉尼与电容薄膜 |
价格区间 | 2千-5千 | 产地类别 | 进口 |
应用领域 | 环保,生物产业,能源,制药 |
Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计(TTR101)
性能特点
l测量范围广:测量范围从 5×10⁻⁵ mbar 到 1500 mbar,涵盖了从粗真空到高真空的较宽范围,可满足多种真空应用场景的测量需求。
l精度较高:在 10mbar 到 1500mbar 的测量范围之间,测量精度高,且不受被测气体的影响,能够提供准确可靠的测量结果。
l传感器坚固耐用:其包含的 MEMS Pirani 传感器元件和压电传感器元件都极为坚固耐用,可承受较高重力和瞬间空气涌入,具有较好的稳定性和可靠性,适用于较为苛刻的工作环境。
l安装位置不敏感:MEMS Pirani 传感器由于其几何形状,空腔内无法进行对流,气体分子只能通过扩散到达热元件,因此传感器对安装位置并不敏感,方便在不同的系统中进行安装和使用。
工作原理
该真空计结合了皮拉尼原理与电容薄膜原理。其中,MEMS Pirani 传感器元件基于热传导性的测量结果,包含一个带有热电阻元件的硅芯片,其构成空腔的一个表面,芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面,通过测量气体的热损耗来反映真空度;压电传感器基于相对于集成式参考真空的硅膜机械偏转测量结果,可独立于气体成分和浓度来测量真实的绝对压力。
Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计(TTR101)
技术参数
l输出接口:配备 RS232 数字通信接口和 EtherCAT 数字通信接口的变送器版本,可设置变送器参数,并可提供实时压力测量结果。部分型号还带有线性模拟 0-10V 输出,可连接至外部模拟设备,用于获取压力读数或进行压力控制。
l显示功能:部分型号配备集成式触屏显示器,能够监控基本的变送器参数,方便用户直接读取测量结果和进行参数设置。
l继电器功能:拥有多达三个机械继电器,这些继电器可用于过程控制,例如阀或泵的联锁,可根据设定的压力值自动控制相关设备的运行。
应用领域
l工业应用:广泛应用于各种工业生产过程中的真空测量与控制,如真空镀膜、真空干燥、真空包装等领域,确保生产过程中的真空环境符合工艺要求。
l研发领域:在科研实验中,可用于实验室的真空系统控制、前级管道和粗抽压力测量、气体回填测量和控制等,为科研工作提供准确的真空度测量。
l半导体行业:在半导体制造过程中,如光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺中,对真空环境的要求很高,TTR101 真空计可用于精确测量和控制真空度,保证产品质量和生产效率。
l分析和涂料工业:在分析仪器如质谱仪、气相色谱仪等中,可作为真空度测量的关键部件,确保仪器的正常运行和分析结果的准确性;在涂料工业中,可用于涂料的真空干燥和固化过程中的真空控制。