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Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计

产品简介

Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计(TTR101)的测量范围从 5×10⁻⁵ 到1500 mbar,能够满足从粗真空到高真空的测量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的测量范围之间,测量精度高,且不受被测气体的影响,可提供准确可靠的测量结果。

产品型号:TTR101
更新时间:2025-01-17
厂商性质:代理商
访问量:114
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品牌Leybold/德国莱宝真空接口DN 16 ISO KF
量程5×10⁻⁵ 到1500mbar测量原理皮拉尼与电容薄膜
价格区间2千-5千产地类别进口
应用领域环保,生物产业,能源,制药

Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计(TTR101

性能特点

l测量范围广:测量范围从 5×10⁻⁵ mbar 1500 mbar,涵盖了从粗真空到高真空的较宽范围,可满足多种真空应用场景的测量需求。

l精度较高:在 10mbar 1500mbar 的测量范围之间,测量精度高,且不受被测气体的影响,能够提供准确可靠的测量结果。

l传感器坚固耐用:其包含的 MEMS Pirani 传感器元件和压电传感器元件都极为坚固耐用,可承受较高重力和瞬间空气涌入,具有较好的稳定性和可靠性,适用于较为苛刻的工作环境。

l安装位置不敏感:MEMS Pirani 传感器由于其几何形状,空腔内无法进行对流,气体分子只能通过扩散到达热元件,因此传感器对安装位置并不敏感,方便在不同的系统中进行安装和使用。

 

工作原理

该真空计结合了皮拉尼原理与电容薄膜原理。其中,MEMS Pirani 传感器元件基于热传导性的测量结果,包含一个带有热电阻元件的硅芯片,其构成空腔的一个表面,芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面,通过测量气体的热损耗来反映真空度;压电传感器基于相对于集成式参考真空的硅膜机械偏转测量结果,可独立于气体成分和浓度来测量真实的绝对压力。

 

Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计(TTR101

技术参数

l输出接口:配备 RS232 数字通信接口和 EtherCAT 数字通信接口的变送器版本,可设置变送器参数,并可提供实时压力测量结果。部分型号还带有线性模拟 0-10V 输出,可连接至外部模拟设备,用于获取压力读数或进行压力控制。

l显示功能:部分型号配备集成式触屏显示器,能够监控基本的变送器参数,方便用户直接读取测量结果和进行参数设置。

l继电器功能:拥有多达三个机械继电器,这些继电器可用于过程控制,例如阀或泵的联锁,可根据设定的压力值自动控制相关设备的运行。

 

应用领域

l工业应用:广泛应用于各种工业生产过程中的真空测量与控制,如真空镀膜、真空干燥、真空包装等领域,确保生产过程中的真空环境符合工艺要求。

l研发领域:在科研实验中,可用于实验室的真空系统控制、前级管道和粗抽压力测量、气体回填测量和控制等,为科研工作提供准确的真空度测量。

l半导体行业:在半导体制造过程中,如光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺中,对真空环境的要求很高,TTR101 真空计可用于精确测量和控制真空度,保证产品质量和生产效率。

l分析和涂料工业:在分析仪器如质谱仪、气相色谱仪等中,可作为真空度测量的关键部件,确保仪器的正常运行和分析结果的准确性;在涂料工业中,可用于涂料的真空干燥和固化过程中的真空控制。


Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计


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