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INFICON英福康膜厚控制仪

产品简介

INFICON英福康膜厚控制仪的存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料,可满足多种镀膜工艺的存储需求。

产品型号:SQC310
更新时间:2024-10-25
厂商性质:代理商
访问量:491
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品牌INFICON/美国应用领域环保,生物产业,能源,电子,制药

INFICON英福康膜厚控制仪


INFICON SQC-310 系列拥有先进的电子元件、改进的显示屏和非常实惠的价格,为您提供竞争对手薄膜控制器所不具备的功能。您可以选择适合您应用的理想型号:顺序沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)

 

INFICON英福康膜厚控制仪

 

功能

l 明亮的彩色液晶显示屏 - 提供英文或中文显示

l 标准RS-232USB接口(可选RS-232和以太网接口)

l 通过 "快速设置 "菜单、6个上下文敏感按钮和方便的参数设置旋钮,实现简单的设置和操作

l Windows®程序,用于开发、测试和下载过程,并将仪表数据记录到PC上,用于过程分析和质量控制

l 精确的过程控制,尤其适用于低沉积速率,分辨率为±0.03 Hz,读数为10/

l 可存储多达100个过程、1,000层、50层薄膜的数据

l 使用单个传感器或多个传感器监测源材料,以提供精确的源分布监测


INFICON英福康膜厚控制仪

规格

SQC-310

 

测量

 

QCM 输入

2 (4 可选)

频率范围

可调:

1.0 MHz 最小

6.5 MHz 最高

频率分率 (1)

± 0.012 Hz

厚度和速率分辨率/测量 (2)

±0.015 Å

频率稳定

± 2 ppm , 0 to 50C

测量间隔

0.10 to 1.0 s (可调)

显示速率

0.01 Å/sec

控制

 

储存

100 过程, 1000 模层, 50 模系

控制输出

2 (4 可选)

信号输出

± 0 to 10 VDC, 15 bits

数字输入/继电器

8/8 (16/16 可选)

数字输入

5 VDC 非隔离

继电器

SPST 1A, 30V, 2A 最大

接口

标准 RS-232 and USB (RS-232 Ethernet 选项)

远程控制

选项 (IPN 782-900-017)

显示

 

类型

1/4 VGA 320 x 240 有源矩阵彩色 LCD

图型

速率、偏差、功率或全屏数字

一般

 

电源

100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W

兼容

CE, RoHS

Windows® 软件

包含

机箱 / 安装

5 1/4” 半机架






























(1) 0.25 s测量间隔的分辨率

(2)工具/密度 = 100/1, 基础频率 = 6 MHz, 0.25 s 测量间隔


SQC-310C

 

测量

 

QCM 输入

4

频率范围

可调:

1.0 MHz 最小

6.5 MHz 最高

频率分率 (1)

± 0.012 Hz

厚度和速率分辨率/测量 (2)

±0.015 Å

频率稳定

± 2 ppm , 0 to 50C

测量间隔

0.10 to 1.0 s (可调)

显示速率

0.01 Å/sec

控制

 

储存

100 过程, 1000 模层, 50 模系

控制输出

4

信号输出

± 0 to 10 VDC, 15 bits

数字输入/继电器

16/16

数字输入

5 VDC 非隔离

继电器

SPST 1A, 30V, 2A 最大

接口

标准 RS-232 and USB (RS-232 Ethernet 选项)

远程控制

选项 (IPN 782-900-017)

显示

 

类型

1/4 VGA 320 x 240 有源矩阵彩色 LCD

图型

速率、偏差、功率或全屏数字

一般

 

电源

100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W

兼容

CE, RoHS

Windows® 软件

包含

机箱 / 安装

5 1/4” 半机架






























(1) 0.25 s测量间隔的分辨率

(2)工具/密度 = 100/1, 基础频率 = 6 MHz, 0.25 s 测量间隔

INFICON英福康膜厚控制仪

 

杭州域势科技有限公司,专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案,公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌,结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案,旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。

 

 

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