INFICON英福康氦质谱检漏仪

INFICON英福康氦质谱检漏仪专门为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。

l 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间。

l 由于低维护的根部粗加工泵，总拥有成本（TCO）更低。

l 由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，更早地开始检漏，使得快速达到敏感测量范围成为可能

l UL3000 Fab ULTRA还通过使用成熟的吸污管线SL3000提供了改进的吸污能力，该吸污管线长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

快速的结果

改进后的真空系统带有低维护的真空泵，可以从大气压开始检测泄漏。坚固的质谱仪系统确保了长时间的运行和低维护成本。

可旋转的显示器和可远程控制的用户接口

新的触摸屏显示，即使在远距离也能显示测试结果和状态信息。通过用户指导的菜单结构，即使是没有经验的操作员也能轻松操作。通过智能手机或平板电脑可以对UL3000 Fab（ULTRA）进行无线控制--无需特殊软件或Apps。通过按钮记录和存储测试结果，可以传输到其他存储介质，以便进一步分析。

纤细的设计，先进的可操作性

低重心、大轮子、符合人体工程学设计的手柄和纤细的外壳使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狭小的空间也有良好的移动性。

优势

l 采用I-CAL软件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量，节省时间

l 使用I-ZERO 2.0进行有效的检漏，其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制

l 适用于真空和嗅探检漏

l 通过快速排空和响应时间，最大限度地减少检漏工作

l 纤细的设计，易于操作，节省时间

l 坚固的离子源（3年保修）和逆流真空系统使总拥有成本（TCO）较低

l 逆流式真空系统

l 易于使用，由操作员指导的人机界面，带有全彩高分辨率可旋转显示器

l UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，使其有可能迅速达到敏感的测量范围，从而更早开始检漏。

l UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间

l 根部泵的速度更快

l UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低维护率，总拥有成本（TCO）更低。粗加工泵。

l UL3000 Fab ULTRA：通过使用久经考验的吸污管线SL3000，该检漏仪还提供了改进的吸污能力，其长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

典型应用

l 半导体工厂

l 平板显示器制造

l 太阳能电池的制造

l 玻璃和卷材（卷对卷）镀膜

l 一般真空镀膜和应用

INFICON英福康氦质谱检漏仪

规格