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INFICON英福康膜厚控制仪OLED专用在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多特别的功能,可帮助您实现 OLED 过程的最大价值。
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产品分类品牌 | INFICON/美国 | 应用领域 | 环保,生物产业,制药 |
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INFICON英福康膜厚控制仪OLED专用
OLED 应用提供最佳测量精度
Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多特别的功能,可帮助您实现 OLED 过程的最大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统,提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s,是行业中的优秀者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器更好的性能、品质和功能,赋予您的过程优秀的可重复性。
功能
l INFICON ModeLock 技术确保获得最高、更稳定的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下
l Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,可提高厚度测量的精度
l 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源,无需使用两个或三个控制器
l 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
l 10 Hz 测量
l 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
l USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
l 多个源厚度合计功能
l 测量低密度、低速率材料的平均速率(使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒)
l 速率显示分辨率可达 0.001Å
l 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
l 无沉积控制允许持续控制源,因为基片可以通过沉积室不断循环
l 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
l 可选以太网通信
l 符合 RoHS 标准
INFICON英福康膜厚控制仪OLED专用
规格
测量性能 | |
厚度和速率分辨率/测量 (1) | ±0.00433 Å |
测量频率范围 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) |
过程配方和数据管理 | |
材料计划 | 6 independent materials |
来源数量 (2) | up to 6 |
(1) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 兆赫兹
(2) Cygnus 2 有 6 个 DAC 输出标准,还可选择再添加 6 个。 可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出,但可同时控制的来源数量为 6
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