INFICON英福康膜厚控制仪OLED专用

INFICON英福康膜厚控制仪OLED专用

OLED 应用提供最佳测量精度

Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多特别的功能，可帮助您实现 OLED 过程的最大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的优秀者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器更好的性能、品质和功能，赋予您的过程优秀的可重复性。

功能

l INFICON ModeLock 技术确保获得最高、更稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下

l Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度

l 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器

l 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况

l 10 Hz 测量

l 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz

l USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录

l 多个源厚度合计功能

l 测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒）

l 速率显示分辨率可达 0.001Å

l 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆

l 无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环

l 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控

l 可选以太网通信

l 符合 RoHS 标准

INFICON英福康膜厚控制仪OLED专用

规格

(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 兆赫兹

(2) Cygnus 2 有 6 个 DAC 输出标准，还可选择再添加 6 个。  可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出，但可同时控制的来源数量为 6

杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。