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产品中心INFICON英福康产品OPG550INFICON英福康光学等离子体真空计
产品简介
INFICON英福康光学等离子体真空计是一款光学等离子体真空计，也可称为光学气体分析仪。
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产品分类article
相关文章| 品牌 | INFICON/美国 | 真空接口 | KF16、CF16-R、8-VCR female、KF25、KF40等 |
|---|---|---|---|
| 量程 | 1×10-7至 5mbar | 价格区间 | 面议 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,生物产业,制药 |
INFICON英福康光学等离子体真空计
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型，并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。
Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护，用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。
优势
l 高速检漏，可进行腔体检漏
l 提高生产率和产量
l 寿命长，不烧丝，有气涌保护
l 可承受工艺化学反应
l 智能算法，易于集成
l 设计紧凑，占地面积小
l 可靠、快速启动
典型应用
l 腔体泄漏检查，更快的RoR（上升率）测试
l 泄漏检查，发现气体供应管道的内部泄漏
l 实时终端控制
l 气体类型和浓度控制
INFICON英福康光学等离子体真空计
规格
测量范围 N2 | 毫巴 托 | 1×10-7 … 5 (7.6×10-8 … 3.8) |
精度 总压力读数 N2 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 30 |
100 ... 1000 毫巴 | 读数百分比 | 50 |
N2 总压力读数的重复性 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 5 |
温度 | ||
运行（环境） | °C | +5 … +50 |
存储 | °C | -20 … +70 |
带电子装置的法兰处烘干 | °C | <80 |
法兰处烘干（不含电子装置） | °C | <120 |
电源电压 | ||
压力表 | 伏（直流） | +14.5 … +30 |
波纹 | 伏（p-p） | ≤1 |
耗电量 | W | ≤5 |
连接保险丝 | AT | 1 |
暴露在真空中的材料 | ||
一般材料 | 一般材料 | Al2O3, 不锈钢 1.4435 |
阳极 | 阳极 | 钼 |
电离室 | 电离室 | 钛，不锈钢 1.4016 |
点火器 | 点火器 | 不锈钢 1.4310 |
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