EBARA ESA系列真空干泵抽速达1400L/min～10,000L/min，适合氢气等轻质气体排气，以及20,000L/min～80,000L/min排气量的机型，适合大型腔室高速排气；采用紧凑化设计，可以选择耐腐蚀性材料选配件，是MOCVD等大流量轻质气体排气用途的zuijia选择。大型机型兼具大排气量和静音低振的优点，还可选择有机溶剂排气用选配件。

EBARA EV-SA系列真空干泵 是无需冷却水的小型空冷干式真空泵。尽管属于安装自由度高的小型设计，最大排气速度达到5000L/min，具有节能、低噪的优点，除了用于生产工厂以外，还可用于实验室和研究室等各种不同环境，也是是各种分析仪器和电子显微镜等洁净排气用途的优质选择。