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Leybold莱宝热阴极真空计

产品简介

Leybold莱宝热阴极真空计(ITR90)是一款经过优化的组合变送器。通过将热阴极电离传感器(采用热阴极电离的 Bayard Alpert 原理)与皮拉尼传感器相结合,可实现 5×10-10 至 1000 mbar(3.75 × 10-10 至 750 torr)的真空压力测量。

产品型号:ITR90
更新时间:2025-01-25
厂商性质:代理商
访问量:118
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品牌Leybold/德国莱宝真空接口DN 25 ISO-KF
量程5 × 10-10 - 1000mbar测量原理热阴极和皮拉尼
价格区间1万-2万产地类别进口
应用领域环保,生物产业,能源,电子,制药

Leybold莱宝热阴极真空计(ITR90)

有两种主要型号可供选择:

l带单个热阴极灯丝的 ITR 90

l带双灯丝的 ITR 200,通过内置冗余配置延长使用寿命。如果出现故障,它将自动切换灯丝,并指示灯丝出现故障。为了进一步延长真空计的使用寿命,可以运行脱气程序,从而重新增强灯丝的性能。 

l 1 × 10-10 mbar/torr 到大气压的连续压力测量  

l紧凑型设计,带有可更换的阴极和脱气模式 

l可烘烤的传感器,用于 UHV 测量 

l提供模拟、显示、数字和 Profibus 接口,便于安装 

l 10-2 至 10-9 mbar 的典型工艺压力范围内具有高重复性  

l通过无源测量进行的 UHV 压力测量,可实现低至 10-12 mbar/torr 的测量

l测量范围:通常可测量的压力范围为 1.3×10⁻⁸ Pa 到 3×10⁵ Pa,可满足从高真空到超高真空范围的测量需求。

l输出特性:可以与 Duniway Terranova 990 真空计控制器等配合,具有 RS232 串行、I/O 数据输出接口,可进行压力读数的模拟对数输出等。

 

工作原理

基于热阴极电离规的原理工作。通过高温灯丝发射电子,这些高能量电子在电场作用下加速运动,与真空计测量空间内的气体分子发生碰撞。在碰撞过程中,气体分子的一个或多个电子被撞击出去,使气体分子电离形成带正电的离子。这些带电离子在电场作用下被离子收集极捕捉收集,形成离子流。离子流的大小与气体压力成比例关系,通过测量离子流的大小就可以测算出气体的压力,从而得出真空度。

 

结构特点

l电极结构:一般由阴极(灯丝)、栅极和收集极组成。阴极通常采用耐高温、发射电子性能良好的材料制成,通电加热后发射电子。栅极处于正电位,用于加速从阴极发射出来的电子,使电子获得足够的能量去撞击气体分子。收集极处于负电位,用于收集被电离的气体离子。

l规管设计:整体规管的设计能够保证在高真空环境下,电子、离子的运动和相互作用不受外界干扰,确保测量的准确性和稳定性。

 

Leybold莱宝热阴极真空计(ITR90)

技术参数

型号

ITR90

测量原理

热阴极皮拉尼

测量范围/显示范围

5 × 10-10 - 1000mbar

测量

15% at 1×10-8 - 1×10-2 mbar

> 15% at 10-1 - 1000 mbar

状态指示器

LED屏幕

工作温度

0 - 40℃

最大烘烤温度

150℃

超压限制

2bar

防护等级

IP30

最大电缆长度

电气连接

100m(type C)

Sub-D, 15-way male

接口

0-10 V, RS232, Profibus

控制器类型

GRAPHIX系列

 

产品优势

l量程宽:能够覆盖较广的真空度测量范围,从高真空到超高真空都能进行有效的测量,适用于多种不同的真空应用场景,如半导体制造、真空镀膜、科研实验等。

l精度较高:在其测量范围内,能够提供相对准确的真空度测量结果,为工艺控制和实验研究提供可靠的数据支持。

l响应速度快:可以快速地对真空度的变化做出响应,及时反映系统内真空状态的改变,有助于实时监控和调整真空系统。

l稳定性好:莱宝作为有名的真空技术品牌,ITR90 热阴极真空计在设计和制造上遵循严格的标准,具有良好的稳定性和可靠性,能够长时间稳定工作。

 

应用领域

l半导体行业:在半导体芯片制造过程中的光刻、蚀刻、镀膜等工艺环节,需要精确控制真空度,ITR90 热阴极真空计可用于监测和控制真空系统,确保工艺的一致性和产品质量。

l真空镀膜:如光学镀膜、金属镀膜等,精确的真空度对于镀膜的质量和性能至关重要,ITR90 可帮助操作人员准确掌握真空状态,实现理想的镀膜效果。

l科研领域:在物理、化学、材料科学等科研实验中,许多实验需要在高真空或超高真空环境下进行,ITR90 热阴极真空计可为实验提供准确的真空度测量,保障实验的顺利进行和数据的准确性。

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