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Leybold莱宝
Leybold莱宝真空计
ITR90Leybold莱宝热阴极真空计
Leybold莱宝热阴极真空计(ITR90)是一款经过优化的组合变送器。通过将热阴极电离传感器(采用热阴极电离的 Bayard Alpert 原理)与皮拉尼传感器相结合,可实现 5×10-10 至 1000 mbar(3.75 × 10-10 至 750 torr)的真空压力测量。
product
产品分类品牌 | Leybold/德国莱宝 | 真空接口 | DN 25 ISO-KF |
---|---|---|---|
量程 | 5 × 10-10 - 1000mbar | 测量原理 | 热阴极和皮拉尼 |
价格区间 | 1万-2万 | 产地类别 | 进口 |
应用领域 | 环保,生物产业,能源,电子,制药 |
Leybold莱宝热阴极真空计(ITR90)
有两种主要型号可供选择:
l带单个热阴极灯丝的 ITR 90
l带双灯丝的 ITR 200,通过内置冗余配置延长使用寿命。如果出现故障,它将自动切换灯丝,并指示灯丝出现故障。为了进一步延长真空计的使用寿命,可以运行脱气程序,从而重新增强灯丝的性能。
l从 1 × 10-10 mbar/torr 到大气压的连续压力测量
l紧凑型设计,带有可更换的阴极和脱气模式
l可烘烤的传感器,用于 UHV 测量
l提供模拟、显示、数字和 Profibus 接口,便于安装
l在 10-2 至 10-9 mbar 的典型工艺压力范围内具有高重复性
l通过无源测量进行的 UHV 压力测量,可实现低至 10-12 mbar/torr 的测量
l测量范围:通常可测量的压力范围为 1.3×10⁻⁸ Pa 到 3×10⁵ Pa,可满足从高真空到超高真空范围的测量需求。
l输出特性:可以与 Duniway Terranova 990 真空计控制器等配合,具有 RS232 串行、I/O 数据输出接口,可进行压力读数的模拟对数输出等。
工作原理
基于热阴极电离规的原理工作。通过高温灯丝发射电子,这些高能量电子在电场作用下加速运动,与真空计测量空间内的气体分子发生碰撞。在碰撞过程中,气体分子的一个或多个电子被撞击出去,使气体分子电离形成带正电的离子。这些带电离子在电场作用下被离子收集极捕捉收集,形成离子流。离子流的大小与气体压力成比例关系,通过测量离子流的大小就可以测算出气体的压力,从而得出真空度。
结构特点
l电极结构:一般由阴极(灯丝)、栅极和收集极组成。阴极通常采用耐高温、发射电子性能良好的材料制成,通电加热后发射电子。栅极处于正电位,用于加速从阴极发射出来的电子,使电子获得足够的能量去撞击气体分子。收集极处于负电位,用于收集被电离的气体离子。
l规管设计:整体规管的设计能够保证在高真空环境下,电子、离子的运动和相互作用不受外界干扰,确保测量的准确性和稳定性。
Leybold莱宝热阴极真空计(ITR90)
技术参数
型号 | ITR90 |
测量原理 | 热阴极和皮拉尼 |
测量范围/显示范围 | 5 × 10-10 - 1000mbar |
测量精度 | 15% at 1×10-8 - 1×10-2 mbar > 15% at 10-1 - 1000 mbar |
状态指示器 | LED屏幕 |
工作温度 | 0 - 40℃ |
最大烘烤温度 | 150℃ |
超压限制 | 2bar |
防护等级 | IP30 |
最大电缆长度 电气连接 | 100m(type C) Sub-D, 15-way male |
接口 | 0-10 V, RS232, Profibus |
控制器类型 | GRAPHIX系列 |
产品优势
l量程宽:能够覆盖较广的真空度测量范围,从高真空到超高真空都能进行有效的测量,适用于多种不同的真空应用场景,如半导体制造、真空镀膜、科研实验等。
l精度较高:在其测量范围内,能够提供相对准确的真空度测量结果,为工艺控制和实验研究提供可靠的数据支持。
l响应速度快:可以快速地对真空度的变化做出响应,及时反映系统内真空状态的改变,有助于实时监控和调整真空系统。
l稳定性好:莱宝作为有名的真空技术品牌,ITR90 热阴极真空计在设计和制造上遵循严格的标准,具有良好的稳定性和可靠性,能够长时间稳定工作。
应用领域
l半导体行业:在半导体芯片制造过程中的光刻、蚀刻、镀膜等工艺环节,需要精确控制真空度,ITR90 热阴极真空计可用于监测和控制真空系统,确保工艺的一致性和产品质量。
l真空镀膜:如光学镀膜、金属镀膜等,精确的真空度对于镀膜的质量和性能至关重要,ITR90 可帮助操作人员准确掌握真空状态,实现理想的镀膜效果。
l科研领域:在物理、化学、材料科学等科研实验中,许多实验需要在高真空或超高真空环境下进行,ITR90 热阴极真空计可为实验提供准确的真空度测量,保障实验的顺利进行和数据的准确性。