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电容薄膜真空规INFICON (英福康)

产品简介

电容薄膜真空规INFICON (英福康)CDG025D电容薄膜规,属于INFICON薄膜规系列,测量精度可达:0.2%(读数精度)、自带温度补偿功能,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。自带一键归零功能和设定点调整功能。

产品型号:CDG025D
更新时间:2024-07-19
厂商性质:代理商
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品牌INFICON/美国真空接口KF16
量程0.1-1000mbar测量原理电容薄膜
价格区间1万-2万产地类别进口
应用领域生物产业,能源,电子,航天,汽车

CDG025D

电容薄膜真空规INFICON (英福康)


电容薄膜真空规INFICON (英福康)


CDG025D电容薄膜真空规,属于INFICON薄膜规系列。测量精度可达:0.2%(读数精度)、自带温度补偿功能,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。自带一键归零功能和设定点调整功能。选用防腐蚀陶瓷传感器可应用于腐蚀性真空环境。在腐蚀性环境中也能保持良好的零点稳定性;预计寿命可达到数百万个加压循环,包括突发大气压。传感器屏蔽(已申请zhuanli)可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可有效过滤电磁干扰,保持长期的稳定测量。


技术特点:

100 mTorr 1000 Torr 满量程可选

电源接通后快速稳定

暴露于大气压后快速恢复

可选防腐蚀陶瓷传感器

电磁屏蔽技术保持信号的长期温定

具有温度补偿

传感器受防污染保护功能(已申请zhuanli)

一键调零功能


典型应用:

  • 用于蚀刻、CVDPVD ALD 的半导体制造设备

  • 数据存储和显示器制造设备

  • 工业真空设备

  • 高度精确的压力测量控制



电容薄膜真空规INFICON (英福康)

技术参数:

参数

单位



参数值

Full scale (FS)                                    

满量程可选范围

Torr / mbar



1000 Torr / 1100   mbar

500 ... 10 Torr /   mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

精度

% of reading



0.2%读数精度

分辨率

percent FS



0.003%

Lowest reading

zui低读数




0.01 % FS(满量程的)

suggested Reading

建议参考读数




0.05 % FS (满量程的)

Control pressure

控制压强时建议读数范围




0.5 % FS (满量程的)

输出信号(模拟)

V (dc)



0 … +10V

Supply voltage (dc)

供电电源

V (dc)



+14 ... +30 V

Power consumption

功率




≤1 W

响应时间

ms



30

Temperature温度





Operation (ambient)

操作温度

°C



+5 ... +50 °C

Bakeout(at flange3)

环境温度(在法兰)

°C



≤110 °C

Storage

储藏温度

°C



–40 ... +65 °C

暴露于真空的材料




Aluminum oxide   ceramic (AI2O3),   Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

Degree of   protection      防护等级




IP 30











































尺寸图


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