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产品中心INFICON英福康产品INFICON真空计CDG025D电容薄膜真空规INFICON (英福康）
产品简介
电容薄膜真空规INFICON (英福康)CDG025D电容薄膜规，属于INFICON薄膜规系列，测量精度可达：0.2%（读数精度）、自带温度补偿功能，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。自带一键归零功能和设定点调整功能。
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相关文章| 品牌 | INFICON/美国 | 真空接口 | KF16 |
|---|---|---|---|
| 量程 | 0.1-1000mbar | 测量原理 | 电容薄膜 |
| 价格区间 | 1万-2万 | 产地类别 | 进口 |
| 应用领域 | 生物产业,能源,电子,航天,汽车 |
CDG025D
电容薄膜真空规INFICON (英福康）
CDG025D电容薄膜真空规,属于INFICON薄膜规系列。测量精度可达：0.2%（读数精度）、自带温度补偿功能，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。自带一键归零功能和设定点调整功能。选用防腐蚀陶瓷传感器可应用于腐蚀性真空环境。在腐蚀性环境中也能保持良好的零点稳定性；预计寿命可达到数百万个加压循环，包括突发大气压。传感器屏蔽（已申请zhuanli）可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可有效过滤电磁干扰，保持长期的稳定测量。
技术特点：
从 100 mTorr 至 1000 Torr 满量程可选
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
可选防腐蚀陶瓷传感器
电磁屏蔽技术保持信号的长期温定
具有温度补偿
传感器受防污染保护功能（已申请zhuanli）
一键调零功能
典型应用：
用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
数据存储和显示器制造设备
工业真空设备
高度精确的压力测量控制
电容薄膜真空规INFICON (英福康）
技术参数：
参数 | 单位 | 参数值 | ||
Full scale (FS) 满量程可选范围 | Torr / mbar | 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar | ||
精度 | % of reading | 0.2%读数精度 | ||
分辨率 | percent FS | 0.003% | ||
Lowest reading zui低读数 | 0.01 % FS（满量程的） | |||
suggested Reading 建议参考读数 | 0.05 % FS （满量程的） | |||
Control pressure 控制压强时建议读数范围 | 0.5 % FS （满量程的） | |||
输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10V | ||
Supply voltage (dc) 供电电源 | V (dc) | +14 ... +30 V | ||
Power consumption 功率 | ≤1 W | |||
响应时间 | ms | 30 | ||
Temperature温度 | ||||
Operation (ambient) 操作温度 | °C | +5 ... +50 °C | ||
Bakeout(at flange3) 环境温度（在法兰） | °C | ≤110 °C | ||
Storage 储藏温度 | °C | –40 ... +65 °C | ||
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass | |||
Degree of protection 防护等级 | IP 30 |
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