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YUSHITECH E-P100气体质量流量控制器

产品简介

YUSHITECH E-P100气体质量流量控制器是一款高精度、高可靠的经济型气体质量流量控制器产品。

产品型号:
更新时间:2024-06-19
厂商性质:代理商
访问量:145

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品牌其他品牌应用领域环保,生物产业,石油,能源,制药

YUSHITECH E-P100气体质量流量控制器




经济型数字质量流量控制器


该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片、高级电磁比例阀、316L不锈钢气路底座,结合高速数字处理电路以及温度补偿算法,可实现最小0.2sc cm 、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。该产品可以用于配气仪、分析仪、真空镀膜、焊接等应用场景。

YUSHITECH E-P100气体质量流量控制器

YUSHITECH E-P100气体质量流量控制器

MEMS流量传感器芯片工作原理


基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热量与其质量流量成正比"理论发展而来 。无气流时, 以Heater为中心的温度场对称分布;有气流时,温度场分布发生偏移,导致上下游出现温差,通过测量该温差,即可推算出流过芯片表面的气体质量流量。


YUSHITECH E-P100气体质量流量控制器


产品规格

基本参数

介质要求

洁净干燥无腐蚀性气体

介质种类

空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等

1

(氮气等效)

(0~20,50,100,200,500)sccm

(0~1,2,5,10,20)slm

精度

0.8%F.S.2 1.0%S.P. 3

取更大者

量程比

100:1

响应时间4

1s

重复精度

≤±0.2%F.S.

分辨率

0.01sccm100sccm

0.1sccm1slm>100sccm

1sccm5slm>1slm

0.01slm>5slm

漏率

1×10-9 Pa m3/s He

最大耐压

9.8bar

环境条件

工作温度

050

工作湿度

10%~90%R.H. (无结冰、无凝霜)

工作压力5

0.5-4bar>2slm

0.5-6bar,2slm

(具体量程相关)

储存温度

-2085

电气参数

供电电压

DC24V,纹波50mv

功耗

2.7W

启动时间

1s

通信接口

接口类型

D-SUB9

模拟控制

05V

数字控制

RS485RS232

数字信号(RS485/RS232

接口类型

D-SUB9

通信速率

9600(默认),1440019200384005600057600115200

(可通过指令或上位机修改)

协议

Modbus-RTU

设备地址

1(默认)~250

(可通过指令或上位机修改)

机械参数

接头类型

卡套:8mm1/4inch1/8inch

其它可选

气体接触材质

316L不锈钢、氟橡胶、二氧化硅

主体材质

底座:316L不锈钢

外壳:铝合金

密封材质

FKM氟橡胶

重量

0.90kg


备注

* 除非另有说明,本产品标定于以下条件:氮气、25 ℃、2.5bar差压 (进气口3.5barA,出气口 1barA)、水平放置。

* 建议在入口端安装尺寸合适的直管段,否则可能会引起精度产生偏差。

* 建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头,以避免导致额外的压损。

1 所示量程为氮气可选量程。

2 %F.S.指误差占满量程的百分比。

3 %S.P.指误差占设定值的百分比。

4 响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。

5 工作压力指进气口与出气口之间的差压。







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