Alicat MCD双阀双向气体质量流量控制器可以控制质量流量,体积流量,或气体压力。双向同时测量流量,压力,温度。

使用Alicat MCVS防腐蚀真空气体质量流量控制器配备气动截止阀，可用于控制真空应用中 128 多种气体（包括 30 多种腐蚀物）的质量流量或压力。

Alicat MCES防腐蚀气体质量流量控制器配备1/4英寸的录像机配件,并与半标准的MFCS进行端到端匹配,便于对真空沉积装置进行升级。控制128+气体的质量流量或压力,包括30+腐蚀剂。

Alicat MCDS防腐蚀双向气体质量流量控制器可以同时控制质量流量、体积流量或气体压力方向，同时测量多达 130 种气体的流量、气体压力和气体温度，包括 30 多种腐蚀物。

Alicat MCDW低压损双向气体质量流量控制器可以在可用系统压力非常小时（压降低至 0.07 PSID）时控制两个方向的质量流量、体积流量或气体压力。