Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计

Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计

莱宝TTR101N真空变送器是结合了皮拉尼原理与电容薄膜原理的新型复合真空规。它测量精度高，而且在10mbar到1500mbar的测量范围之间，不受被测气体的影响。

TTR101N 真空计含有两个独立的传感器元件。其中，MEMS 传感器元件基于热传导性的测量结果，它包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面，芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面，由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此传感器对安装位置并不敏感，通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。另一个压电传感器则基于相对于集成式参考真空的硅膜机械偏转测量结果，可独立于气体成分和浓度来测量真实的绝对压力。

这两个传感器元件都极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。

在一些严苛条件下，灰尘和其他颗粒物可能会加大测量误差，缩短使用寿命，建议选用过滤器。

技术参数：

Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计

典型应用：

l 粗真空到高真空范围的一般真空测量与控制

l 前级真空压强测量

l 真空系统控制

l 进样室

l 高真空电力真空规控制

选配件

灰尘和其他颗粒物可能会加大测量误差，缩短使用寿命。因此本公司建议严苛条件下应选用过滤器。