真空检漏仪的工作原理

一、压力变化法（真空衰减 / 压降法）

1. 把被检件 / 测试腔抽真空，关泵保压

2. 有漏则外界气体渗入，压力上升

3. 传感器测压力变化率，换算漏率

• 特点：低成本、通用；精度中等，适合粗检 / 量产

二、氦质谱检漏法（高精度主流）

1. 被检件抽真空，喷 / 充氦气（示踪气）

2. 氦经漏孔进入检漏仪真空系统

3. 离子源将氦电离为He⁺

4. 磁场 / 四极场质荷比筛选，只让氦离子通过

5. 收集极测离子流，输出漏率（可达10⁻¹² Pa·m³/s）

• 模式：吸枪检漏（定位）、真空检漏（定量）、背压检漏（复杂件）

• 特点：灵敏度高、定量准；航天 / 半导体 / 真空设备优选

三、其他辅助原理

• 卤素检漏：卤素气体遇热阴极电离，信号突变定位

• 超声波检漏：泄漏产生超声，探头捕捉定位

• 高频火花：低压真空下漏点放电打火，目视定位

核心逻辑

• 基础：真空压差驱动气体迁移

• 判据：压力上升或示踪气体信号

• 选型：粗检用压力法；微漏 / 精密用氦质谱